多模组三维光学轮廓仪

　　标配ZDot技术，可选装多模式光学系统。强大的成像测量功能，使其能够对各种样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理等。

　　纳米及微米级台阶测量

　　粗糙度分析

　　薄膜厚度测量

　　三维轮廓测量

　　全表面缺陷测量及分类

　　特征图形全自动侦测与表征

　　高深宽比表面轮廓成像

　　True color（真彩）无限远焦点图像

　　基础模块

　　横向准确度＜1%

　　彩色CCD：2/3”，2448×2048

　　水平分辨率：54nm

　　可测高度：40mm

　　Z轴分辨率：13nm/2nm

　　光源：高亮度LED

　　自动XY载台150×150mm

　　样品反射率：0.5%~100

　　测试系统选项

　　标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×

　　特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜

　　ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5?分辨率，0.1nm台阶高度测试）

　　载台与卡盘选项

　　手动100mm×100mm或300mm×300mm载台

　　自动150mm×150mm或180mmx200mm载台

　　压电陶瓷载台（2nm闭环精度，200?m工作距离）

　　高精度倾斜载台

　　手动旋转载台

　　卡盘：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盘等，可定制

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